微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)是指在真空腔体中通入高纯度的氢气(H2)和甲烷气体 (CH4)，在微波的作用下产生等 离子体火球，甲烷气体在等离子体作用下打开化学键变成了游离的碳原子(C)和氢原子(H)，碳原子在强大能量的等离子作用下逐步会沉积在腔体底部的金刚石种子上，使种子逐步长厚最终形成与天然金刚石结构成分完全一样的CVD金刚石。